① 薄膜樣品的制備：我們一般采用薄硅片，薄銅片等作為載體。先把載物臺上粘上導電膠，然后貼上薄銅片或者硅片，再把溶液滴在上邊，等溶劑干了(此過程可以在臺燈下近距離照射)可以肉眼觀察樣品量是否足夠。
② 粉末樣品制備：在載物臺上粘上導電膠，然后取少量粉末樣品在導電膠上，然后用洗耳球朝載物臺外側輕吹(不可用嘴吹，也不可用其他工具碰粉末樣品，以免破壞樣品表面形貌)，使粉末樣品均勻的鋪在導電膠上，也使樣品粘牢。如果樣品不導電可以最后進行蒸金處理。
③ 塊狀樣品的制備：在載物臺上粘上導電膠，然后將不超過儀器規定尺寸要求的塊狀樣品粘在導電膠上，之后就可以在掃描電鏡中直接觀察。